Advanced Energy ?的 OR400M光學(xué)高溫計(jì)將Sekidenko產(chǎn)品系列的應(yīng)用范圍擴(kuò)展至3.3μm–5.2μm的中紅外波長(zhǎng)范圍。 OR400M可進(jìn)行單通溫度測(cè)量，用于半導(dǎo)體設(shè)備的高精密溫度測(cè)量，用于硅片，腔室的精確測(cè)溫。OR400M支持RS-232和模擬數(shù)據(jù)接口。OR400M設(shè)計(jì)緊湊，易于集成，可滿足許多工藝應(yīng)用的獨(dú)特要求。