Advanced Energy ?的 OR4000E多通道光纖測(cè)溫儀（OFT）能夠自動(dòng)探測(cè)測(cè)量材料發(fā)射率，可用于RTP、HDP-CVD、MOCVD、UV固化和其它各種半導(dǎo)體工藝過(guò)程。OR4000E型具有類似OR4000T的高速性能，并且兼具實(shí)時(shí)輻射率補(bǔ)償?shù)膬?yōu)點(diǎn)。其采用模塊化設(shè)計(jì)，可快速量身定制，滿足獨(dú)特的工藝應(yīng)用要求。