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德國原裝進(jìn)口

60年紅外測(cè)溫專家

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Sekidenko OR4000T 高溫計(jì)

Advanced Energy ?的 OR4000T多通道光纖測(cè)溫儀(OFT)可用于RTP、HDP-CVD、MOCVD、UV固化和其它各種半導(dǎo)體工藝過程,應(yīng)用于半導(dǎo)體硅片,外延,晶圓鍍膜等各種工藝的高精度測(cè)溫;OR4000T型具備多通道能力,支持高達(dá)2kHz的讀取速率,符合半導(dǎo)體應(yīng)用中極為嚴(yán)格的要求。其采用模塊化設(shè)計(jì),可快速量身定制,滿足獨(dú)特的工藝應(yīng)用要求。

產(chǎn)品描述技術(shù)規(guī)格

優(yōu)點(diǎn):

● 提高可重復(fù)性并顯著減小誤差

● 提高生產(chǎn)率、產(chǎn)量和生產(chǎn)能力

● 提高多個(gè)腔室和基材的穩(wěn)定性和可靠性


特點(diǎn):

● 主動(dòng)輻射率檢測(cè)和補(bǔ)償

● 溫度和輻射率讀取速率快

● 模塊化的結(jié)構(gòu)具有高靈活性

● 全套I/O和外部觸發(fā)器/同步組件
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