Sekidenko OR400T 高溫計

Advanced Energy ?的OR400T光纖溫度計能為半導(dǎo)體制程提供優(yōu)異的非接觸式溫度測量解決方案，具體包括PECVD、LPCVD、PVD和金屬蝕刻等應(yīng)用。OR400T設(shè)計緊湊，易于集成，可滿足許多工藝應(yīng)用的獨特要求。

Sekidenko OR400T產(chǎn)品資料 297 KB

Sekidenko OR400T產(chǎn)品手冊 100 KB

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產(chǎn)品描述技術(shù)規(guī)格

優(yōu)點：

● 提高溫度測量準確性

● 提高晶圓間的均勻性

● 提供性價比更高的熱電偶類測量替代方案

● 提高生產(chǎn)率、產(chǎn)量和生產(chǎn)能力

特點：

● 緊湊的單通道設(shè)計

● 原位、非接觸式溫度測量

● 支持RS-232和模擬數(shù)據(jù)接口，溫度讀取速率高達20次/秒

● 提高低溫測量的性能