Advanced Energy ?的 OR4000E多通道光纖測(cè)溫儀(OFT)能夠自動(dòng)探測(cè)測(cè)量材料發(fā)射率,可用于RTP、HDP-CVD、MOCVD、UV固化和其它各種半導(dǎo)體工藝過(guò)程。OR4000E型具有類似OR4000T的高速性能,并且兼具實(shí)時(shí)輻射率補(bǔ)償?shù)膬?yōu)點(diǎn)。其采用模塊化設(shè)計(jì),可快速量身定制,...
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