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Advanced Energy ?的 OR4000T多通道光纖測溫儀(OFT)可用于RTP、HDP-CVD、MOCVD、UV固化和其它各種半導(dǎo)體工藝過程,應(yīng)用于半導(dǎo)體硅片,外延,晶圓鍍膜等各種工藝的高精度測溫;OR4000T型具備多通道能力,支持高達2kHz的讀取速率,符合半導(dǎo)體應(yīng)用中極為嚴(yán)格...
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